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發(fā)布時(shí)間:2023-07-28 21:44:16 人氣:7192
每破方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量把持在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前利用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)灰塵的請(qǐng)求高于A級(jí),這樣的高標(biāo)重要被利用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格把持在每破方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。
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