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發(fā)布時間:2023-07-28 21:44:16 人氣:7212
每破方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量把持在3500個以下,就達到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級。目前利用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對灰塵的請求高于A級,這樣的高標(biāo)重要被利用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格把持在每破方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
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