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發(fā)布時(shí)間:2023-06-29 21:41:56 人氣:7141
? ?長(zhǎng)期服務(wù)于電子行業(yè)的潔凈室,無塵車間建設(shè)中,現(xiàn)對(duì)LED芯片的生產(chǎn)車間要不要 做恒溫恒濕無塵車間,具體工藝怎么樣?無塵車間的溫濕度,潔凈度等具體要求又是多少 進(jìn)行實(shí)際解析: LED芯片的制造工藝流程? ?? ? ? ?LED芯片的制造工藝流程: 外延片→清洗→鍍透明電極層→透明電極圖形光刻→腐蝕→去膠→ 平臺(tái)圖形光刻→干法刻蝕→去膠→退火→SiO2沉積→窗口圖形光刻→SiO2腐蝕→去膠→N極圖形光 刻→預(yù)清洗→鍍膜→剝離→退火→P極圖形光刻→鍍膜→剝離→研磨→切割→芯片→成品測(cè)試。 ? ? 具體要不要做無塵車間決取于你在以上LED芯片的上游還是下游,具體的生產(chǎn)工藝包括哪些?像 我們給**LED芯片客戶無塵車間工藝?yán)锩嬗泻附踊蛘咤a膏或者有光刻曝光工藝的都會(huì)受溫濕 度影響的,因?yàn)闇囟葧?huì)影響錫膏的活性,對(duì)于里面所添加的助焊劑的相關(guān)溶劑的活性有一定的影響。 溫度高會(huì)增加其的活性,最終影響絲印貼裝及回流的效果。容易出現(xiàn)虛焊,焊點(diǎn)不光澤等現(xiàn)象。 濕度的大小回引起錫膏在空氣中吸入水氣的多少,如過吸如過多水氣,會(huì)使回流時(shí)產(chǎn)生氣空,飛漸, 連焊等現(xiàn)象。 ? ?工程部在給客戶大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱 膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必 須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半 導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過25度。濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55%時(shí),冷卻水管壁上 會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。
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